Структурные изменения в покрытиях Ti – Al – C – N при лазерном отжиге
Date
2018Another Title
Structural changes of Ti – Al – C – N coatings after laser annearling
Bibliographic entry
Структурные изменения в покрытиях Ti – Al – C – N при лазерном отжиге = Structural changes of Ti – Al – C – N coatings after laser annearling / В. А. Зайков [и др.] // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : материалы XIII Международной научно-технической конференции, 12-14 сентября 2018 г. [Электронный ресурс]. – Минск : [б. и.], 2018.
Abstract
Методами растровой электронной микроскопии и комбинационного рассеяния света исследованы структура, элементный состав тонких пленок Ti – Al – C – N до и после обработки интенсивным излучением рубинового лазера (λ = 0,69 мкм) при плотностях энергии 0,5–1,3 Дж/см2. Исследуемые тонкопленочные покрытия формировались на
кремниевых подложках методом реактивного магнетронного распыления составной мишени Ti – Al в аргон-азот-ацетиленовой среде.
Abstract in another language
The structure and the elemental composition of thin Ti – Al – C N films before and after treatment with intense ruby laser radiation (λ = 0.69 μm) at energy densities of 0.5–1.3 J/ cm2 were investigated by scanning electron microscopy and Raman scattering. Thin film Ti – Al – C – N coatings on silicon substrates were formed by reactive magnetron sputtering of a composite Ti – Al target in a mixture of argon-nitrogen-acetylene gases.