Browsing by Author "Сенько, С. Ф."

Now showing items 1-6 of 6

    • Дифференциальная диагностика дефектов поверхностей высокого класса обработки 

      Зеленин, В. А.; Сенько, А. С.; Сенько, С. Ф. (Технопринт, 2001)
      Зеленин, В. А. Дифференциальная диагностика дефектов поверхностей высокого класса обработки / В. А. Зеленин, А. С. Сенько, С. Ф. Сенько // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусская государственная политехническая академия ; редкол.: И. П. Филонов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : Технопринт, 2001. – Вып. 17. – С. 434-437.
      2023-05-19

    • Измерение локальных напряжений в полупроводниковых кремниевых структурах 

      Сенько, С. Ф.; Зеленин, В. А. (БНТУ, 2018)
      Распределение остаточных напряжений в многослойной полупроводниковой структуре носит сложный характер и оказывает существенное влияние на характеристики и выход годных приборов. В связи с этим их исследование является одной из актуальных задач современного приборостроения. Цель настоящей работы заключалась в разработке методов оценки фактического распределения остаточных напряжений ...
      2018-09-18

    • Исследование коробления полупроводниковых пластин кремния методом оптической топографии 

      Сенько, С. Ф. (2018)
      Цель настоящей работы заключалась в оценке фактического распределения остаточных напряжений по площади полупроводниковой пластины на основе вновь разработанных методов контроля. Установлено, что на начальных этапах формирования полупроводниковой структуры фактическая форма ее изгиба зависит преимущественно от кристаллографической ориентации пластин кремния. Совокупность линий ...
      2019-04-15

    • Особенности резки монокристаллических слитков кремния на пластины 

      Зеленин, В. А.; Мельников, Г. Г.; Сенько, С. Ф. (Технопринт, 2001)
      Зеленин, В. А. Особенности резки монокристаллических слитков кремния на пластины / В. А. Зеленин, Г. Г. Мельников, С. Ф. Сенько // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусская государственная политехническая академия ; редкол.: И. П. Филонов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : Технопринт, 2001. – Вып. 17. – С. 19-23.
      2023-05-19

    • Оценка качества поверхностей высокого класса обработки 

      Сенько, С. Ф. (2001)
      Сенько, С. Ф. Оценка качества поверхностей высокого класса обработки / С. Ф. Сенько // Инженер-механик. – 2001. – № 4. – С. 22-23.
      2022-11-23

    • Оценка размеров топографических дефектов полупроводниковых кремниевых структур 

      Сенько, С. Ф.; Зеленин, В. А. (БНТУ, 2018)
      Влияние неплоскостности полупроводниковых пластин на характеристики изготавливаемых приборов проявляется через расфокусировку изображения топологии формируемой структуры и снижение разрешения при проведении операций фотолитографии. Для качественного контроля неплоскостности широко используется метод Makyoh топографии, который однако не позволяет получить количественные характеристики ...
      2018-03-17