Особенности резки монокристаллических слитков кремния на пластины
Bibliographic entry
Зеленин, В. А. Особенности резки монокристаллических слитков кремния на пластины / В. А. Зеленин, Г. Г. Мельников, С. Ф. Сенько // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусская государственная политехническая академия ; редкол.: И. П. Филонов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : Технопринт, 2001. – Вып. 17. – С. 19-23.