Now showing items 1-3 of 3

    • Система спектрофотометрического контроля покрытий на основе бинарных нитридов 

      Белявский, Д. С.; Солодухо, Д. А.; Зайков, В. А. (БНТУ, 2012)
      Белявский, Д. С. Система спектрофотометрического контроля покрытий на основе бинарных нитридов / Д. С. Белявский, Д. А. Солодухо, В. А. Зайков // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 196.
      2022-09-22
    • Установка для исследования параметров магнетронной и лазерной плазмы 

      Бурмаков, А. П.; Зайков, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Людчик, О. Р.; Солодухо, Д. А. (БНТУ, 2012)
      В работе рассмотрены различные модификации установки для импульсного лазерного и магнетронного осаждения тонкопленочных структур с контролируемыми условиями формирования плазменного потока и возможностью исследования параметров плазмы. Предложены варианты для совместного и раздельного осаждения слоев. Разработанная установка расширяет энергетический, зарядовый и элементный состав ...
      2013-02-05
    • Установка и технология лазерно-магнетронного осаждения многослойных наноразмерных структур 

      Солодухо, Д. А.; Белявский, Д. С.; Людчик, О. Р. (БНТУ, 2012)
      Солодухо, Д. А. Установка и технология лазерно-магнетронного осаждения многослойных наноразмерных структур / Д. А. Солодухо, Д. С. Белявский, О. Р. Людчик // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 181.
      2022-09-22