Browsing by Author "Солодухо, Д. А."
Now showing items 1-3 of 3
-
Система спектрофотометрического контроля покрытий на основе бинарных нитридов
Белявский, Д. С.; Солодухо, Д. А.; Зайков, В. А. (БНТУ, 2012)Белявский, Д. С. Система спектрофотометрического контроля покрытий на основе бинарных нитридов / Д. С. Белявский, Д. А. Солодухо, В. А. Зайков // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 196.2022-09-22 -
Установка для исследования параметров магнетронной и лазерной плазмы
Бурмаков, А. П.; Зайков, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Людчик, О. Р.; Солодухо, Д. А. (БНТУ, 2012)В работе рассмотрены различные модификации установки для импульсного лазерного и магнетронного осаждения тонкопленочных структур с контролируемыми условиями формирования плазменного потока и возможностью исследования параметров плазмы. Предложены варианты для совместного и раздельного осаждения слоев. Разработанная установка расширяет энергетический, зарядовый и элементный состав ...2013-02-05 -
Установка и технология лазерно-магнетронного осаждения многослойных наноразмерных структур
Солодухо, Д. А.; Белявский, Д. С.; Людчик, О. Р. (БНТУ, 2012)Солодухо, Д. А. Установка и технология лазерно-магнетронного осаждения многослойных наноразмерных структур / Д. А. Солодухо, Д. С. Белявский, О. Р. Людчик // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 181.2022-09-22