Установка и технология лазерно-магнетронного осаждения многослойных наноразмерных структур
Bibliographic entry
Солодухо, Д. А. Установка и технология лазерно-магнетронного осаждения многослойных наноразмерных структур / Д. А. Солодухо, Д. С. Белявский, О. Р. Людчик // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 181.