Browsing by Author "Федотов, А. К."

Now showing items 1-3 of 3

    • Геттерирование кислорода на захороненный дефектный слой, созданный имплантацией водорода 

      Францкевич, А. В.; Францкевич, Н. В.; Журавкевич, Е. В.; Федотов, А. К.; Мазаник, А. В.; Рау, Э. И.; Сеннов, Р. А. (Наука, 2004)
      Полученный способом Чохральского кремний, после имплантации водородом или гелием с энергией 100 кэВ и дозами (2-4) • 10^16 см^-2, обрабатывался в кислородной плазме постоянного разряда при температурах 250 или 500°С, а затем отжигался в вакууме в течение 4 ч при температурах 250 или 500°С. Методом масс-спектрометрии вторичных ионов обнаружено накопление кислорода на глубине ...
      2016-12-16

    • Наноструктурирование поверхности кремниевых пластин низкоэнергетической водородной плазмой 

      Зинчук, О. В.; Тиванов, М. С.; Чигирь, С. В. (БНТУ, 2003)
      Зинчук, О. В. Наноструктурирование поверхности кремниевых пластин низкоэнергетической водородной плазмой / О. В. Зинчук, М. С. Тиванов, С. В. Чигирь ; науч. рук.: А. К. Федотов, Н. А. Дроздов // НИРС-2003 : VIII республиканская научно-техническая конференция студентов и аспирантов, 9-10 декабря 2003 г., г. Минск : тезисы докладов : в 7 ч. / Белорусский национальный технический ...
      2024-05-16

    • Состояние и перспективы ориентированной подготовки и переподготовки кадров в области нанотехнологий 

      Зенькевич, Э. И.; Безух, Б. А.; Никитенко, П. Г.; Федотов, А. К. (БНТУ, 2011)
      В настоящем сообщении представлено современное определение нанотехнологии как области исследований и разработок, а также выделены принципиальные свойства нанообъектов. Анализируется развитие нанотехнологий на данный момент в мире и в Беларуси. Предлагаются возможные пути по развитию специального нанотехнологического образования и решению стратегической задачи – созданию национальной ...
      2017-11-14