Формирование глубинных наноразмерных слоев силицидов и диэлектриков в кремнии

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-supervisor

Францкевич, А. В.

Date

2010

Publisher

БНТУ

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc

621.315.592

Another Title

отчет о НИР (заключительный) : 06-94

Bibliographic entry

Формирование глубинных наноразмерных слоев силицидов и диэлектриков в кремнии : отчет о НИР (заключительный) : 06-94 / Белорусский национальный технический университет; рук. Францкевич А.В., исполн. Мазаник А.В., исполн. Федотов А.К. [и др.]. – Минск, 2010. – 64 с. – Библиогр.: с. 4. - № ГР 20062993

Abstract

Объектом исследования являются пластины кремния, содержащие глубинные слои и иные дефекты, сформированные посредством имплантации и последующего геттерирования на них примесей. Цель работы – разработка принципов формирования областей с особыми свойствами в пластинах кремния посредством имплантации водорода, гелия или аргона и последующей плазменной обработки. Основные методы исследования: резерфордовское обратное рассеяние, сканирующая электронная микроскопия, масс-спектроскопия вторичных ионов, измерение времени жизни неравновесных носителей, спектроскопия комбинационного рассеяния.