Now showing items 1-6 of 6

    • Маломощный газовый сенсор на наноструктурированной диэлектрической мембране 

      Белогуров, Е. А.; Хатько, В. В.; Горох, Г. Г.; Захлебаева, А. И.; Реутская, О. Г.; Таратын, И. А. (Новые технологии, 2015)
      Представлены технология изготовления газового сенсора с наноструктурированной двухслойной диэлектрической мембраной на кремнии и характеристики изготовленного сенсора. Выбор корректной математической модели обеспечивает хорошее совпадение расчетных вольт-амперных характеристик сенсора с экспериментальными и позволяет оценить влияние пористости диэлектрической мембраны на изменение ...
      2018-06-29
    • Многослойные стеки Pd/Al2O3 и Pt/Al2O3 в термокаталитических газовых сенсорах на кремнии 

      Хатько, В. В. (Белорусская наука, 2013)
      Хатько, В. В. Многослойные стеки Pd/Al2O3 и Pt/Al2O3 в термокаталитических газовых сенсорах на кремнии / В. В. Хатько // Весцi Нацыянальнай акадэмii навук Беларусi. Серыя фiзiка-тэхнiчных навук. - 2013. - № 4. - С. 108-112.
      2014-12-12
    • Мультисенсорные газовые микросистемы с низким энергопотреблением на основе наноструктурированных подложек 

      Горох, Г. Г.; Захлебаева, А. И.; Хатько, В. В.; Реутская, О. Г.; Таратын, И. А. (2017)
      В статье разработана конструкция и технология изготовления мультисенсорной газовой микросистемы на подложке из нанопористого анодного оксида алюминия. Исследованы электрофизические характеристики разработанной микросистемы, получены отклики к воздействию активных газов.
      2021-07-28
    • Нанопористый анодный оксид алюминия в конструкции газовых микросенсоров 

      Горох, Г. Г.; Захлебаева, А. И.; Плескачевский, Ю. М.; Реутская, О. Г.; Таратын, И. А.; Хатько, В. В. (Белорусская наука, 2017)
      Газовые микросенсоры относятся к устройствам, позволяющим проводить анализ концентрации того или иного химического компонента в смеси газов. Использование наноструктурированного анодного оксида алюминия в конструкциях микросенсоров дает возможность создавать на поверхности подложек высокоразвитые структуры или рельефы для последующего нанесения чувствительных слоев газового ...
      2021-05-31
    • Особенности сенсорного отклика термокаталитических газовых сенсоров с различным типом нагревателя 

      Таратын, И. А.; Хатько, В. В. (2011)
      Рассмотрены особенности сенсорного отклика термокаталитического газового сенсора с нагревателем из монокристаллического кремния и установлены его отличия от сенсорного отклика сенсора, изготовленного по стандартной технологии с нагревателем из платиновой спирали
      2014-06-02
    • Особенности сенсорного отклика термокаталитических газовых сенсоров с различным типом нагревателя 

      Таратын, И. А.; Хатько, В. В. (ПГУ, 2011)
      Рассмотрены особенности сенсорного отклика термокаталитического газового сенсора (типа пеллистор) с нагревателем из монокристаллического кремния и установлены его отличия от сенсорного отклика сенсора, изготовленного по стандартной технологии с нагревателем из платиновой спирали. Эти особенности связаны с нелинейностью вольтамперной характеристики сенсора с нагревателем из ...
      2013-12-12