МЭМС-сенсор давления с диафрагмой из монокристаллического кремния
Bibliographic entry
Козуля, А. А. МЭМС-сенсор давления с диафрагмой из монокристаллического кремния / А. А. Козуля, В. А. Лапицкая // Новые направления развития приборостроения : материалы 15-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 20−22 апреля 2022 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 149.