МЭМС-сенсор давления с диафрагмой из монокристаллического кремния
| dc.contributor.author | Козуля, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Лапицкая, В. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-05-20T07:42:40Z | |
| dc.date.available | 2022-05-20T07:42:40Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.citation | Козуля, А. А. МЭМС-сенсор давления с диафрагмой из монокристаллического кремния / А. А. Козуля, В. А. Лапицкая // Новые направления развития приборостроения : материалы 15-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 20−22 апреля 2022 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 149. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/111823 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | МЭМС-сенсор давления с диафрагмой из монокристаллического кремния | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
