Литейно-деформационные принципы получения катодов-мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников
Bibliographic entry
Литейно-деформационные принципы получения катодов-мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников / И. А. Иванов [и др.] // Минск – Шанхай – Чанчунь: стратегия прорывного сотрудничества : сборник материалов научно-практической конференции (Минск, 21 апреля 2022 г.) / Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 135-138.
Abstract
Применительно к технологии изготовления катодов- мишеней для установок ионно-плазменного нанесения покрытий и на основании ранее выполненных исследований разработаны основные практические принципы, включающие: металлургические, литейные, деформационные и термические процессы.
Abstract in another language
关于离子等离子体涂层装置的阴极技术，在以往研究的基础上， 已经制定了基本的实用原则，包括：冶金、铸造、变形和热过程。