| dc.contributor.author | Иванов, И. А. | ru |
| dc.contributor.author | Шейнерт, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Слуцкий, А. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Белый, А. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-08-02T12:30:30Z | |
| dc.date.available | 2022-08-02T12:30:30Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.citation | Литейно-деформационные принципы получения катодов-мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников / И. А. Иванов [и др.] // Минск – Шанхай – Чанчунь: стратегия прорывного сотрудничества : сборник материалов научно-практической конференции (Минск, 21 апреля 2022 г.) / Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 135-138. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/115398 | |
| dc.description.abstract | Применительно к технологии изготовления катодов- мишеней для установок ионно-плазменного нанесения покрытий и на основании ранее выполненных исследований разработаны основные практические принципы, включающие: металлургические, литейные, деформационные и термические процессы. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Литейно-деформационные принципы получения катодов-мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| local.description.annotation | 关于离子等离子体涂层装置的阴极技术，在以往研究的基础上， 已经制定了基本的实用原则，包括：冶金、铸造、变形和热过程。 | ru |
