Шкляр, Д. С. Применение метода рентгенолитографии в технологии микро- и наноэлектроники / Д. С. Шкляр, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 8-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2015. – С. 185.