Применение метода рентгенолитографии в технологии микро- и наноэлектроники
| dc.contributor.author | Шкляр, Д. С. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-08-24T10:23:46Z | |
| dc.date.available | 2022-08-24T10:23:46Z | |
| dc.date.issued | 2015 | |
| dc.identifier.citation | Шкляр, Д. С. Применение метода рентгенолитографии в технологии микро- и наноэлектроники / Д. С. Шкляр, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 8-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2015. – С. 185. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/117909 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Применение метода рентгенолитографии в технологии микро- и наноэлектроники | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
