Установка и технология лазерно-магнетронного осаждения многослойных наноразмерных структур
| dc.contributor.author | Солодухо, Д. А. | ru |
| dc.contributor.author | Белявский, Д. С. | ru |
| dc.contributor.author | Людчик, О. Р. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-09-22T07:30:52Z | |
| dc.date.available | 2022-09-22T07:30:52Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.identifier.citation | Солодухо, Д. А. Установка и технология лазерно-магнетронного осаждения многослойных наноразмерных структур / Д. А. Солодухо, Д. С. Белявский, О. Р. Людчик // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 181. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/119514 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Установка и технология лазерно-магнетронного осаждения многослойных наноразмерных структур | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
