АСМ-микрозонды для механической нанолитографии
Bibliographic entry
Ширяева, Т. И. АСМ-микрозонды для механической нанолитографии / Т. И. Ширяева, Т. А. Кузнецова // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 193.