АСМ-микрозонды для механической нанолитографии
| dc.contributor.author | Ширяева, Т. И. | ru |
| dc.contributor.author | Кузнецова, Т. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-09-22T07:30:53Z | |
| dc.date.available | 2022-09-22T07:30:53Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.identifier.citation | Ширяева, Т. И. АСМ-микрозонды для механической нанолитографии / Т. И. Ширяева, Т. А. Кузнецова // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 193. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/119528 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | АСМ-микрозонды для механической нанолитографии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
