Использование метода микротвердости для изучения механических свойств поверхностных полупроводниковых слоев
Bibliographic entry
Синяк, В. М. Использование метода микротвердости для изучения механических свойств поверхностных полупроводниковых слоев / В. М. Синяк, А. А. Мирошниченко, Е. Ф. Карпович // Новые направления развития приборостроения : материалы 6-й Международной студенческой научно-технической конференции, 24-26 апреля 2013 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 158.