Использование метода микротвердости для изучения механических свойств поверхностных полупроводниковых слоев
| dc.contributor.author | Синяк, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Мирошниченко, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Карпович, Е. Ф. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-10-24T11:18:30Z | |
| dc.date.available | 2022-10-24T11:18:30Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Синяк, В. М. Использование метода микротвердости для изучения механических свойств поверхностных полупроводниковых слоев / В. М. Синяк, А. А. Мирошниченко, Е. Ф. Карпович // Новые направления развития приборостроения : материалы 6-й Международной студенческой научно-технической конференции, 24-26 апреля 2013 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 158. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/121289 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Использование метода микротвердости для изучения механических свойств поверхностных полупроводниковых слоев | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
