Система спектрального контроля процесса очистки изделий ионным источником “Радикал”
Bibliographic entry
Климович, И. М. Система спектрального контроля процесса очистки изделий ионным источником “Радикал” / И. М. Климович, В. В. Пилько, В. А. Зайков // Новые направления развития приборостроения : материалы 6-й Международной студенческой научно-технической конференции, 24-26 апреля 2013 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 23.