Система спектрального контроля процесса очистки изделий ионным источником “Радикал”
| dc.contributor.author | Климович, И. М. | ru |
| dc.contributor.author | Пилько, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Зайков, В. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-10-24T11:18:35Z | |
| dc.date.available | 2022-10-24T11:18:35Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Климович, И. М. Система спектрального контроля процесса очистки изделий ионным источником “Радикал” / И. М. Климович, В. В. Пилько, В. А. Зайков // Новые направления развития приборостроения : материалы 6-й Международной студенческой научно-технической конференции, 24-26 апреля 2013 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 23. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/121350 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Система спектрального контроля процесса очистки изделий ионным источником “Радикал” | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
