Магнетронная распылительная система
Bibliographic entry
Прокопович, П. С. Магнетронная распылительная система / П. С. Прокопович, Ю. А. Родионов // Новые направления развития приборостроения : материалы 2-й Международной студенческой научно-технической конференции (22-24 апреля 2009 г.) / редкол.: В. Л. Соломахо [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 174.