Магнетронная распылительная система
| dc.contributor.author | Прокопович, П. С. | ru |
| dc.contributor.author | Родионов, Ю. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-10-26T11:01:12Z | |
| dc.date.available | 2022-10-26T11:01:12Z | |
| dc.date.issued | 2009 | |
| dc.identifier.citation | Прокопович, П. С. Магнетронная распылительная система / П. С. Прокопович, Ю. А. Родионов // Новые направления развития приборостроения : материалы 2-й Международной студенческой научно-технической конференции (22-24 апреля 2009 г.) / редкол.: В. Л. Соломахо [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 174. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/121783 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Магнетронная распылительная система | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
