Автоматизированный комплекс элит-процесса изготовления сенсорных микросистем
Bibliographic entry
Колешко, В. М. Автоматизированный комплекс элит-процесса изготовления сенсорных микросистем / В. М. Колешко, А. В. Гулай, Е. В. Полынкова // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; под ред. Б. М. Хрусталева ; редкол.: Б. М. Хрусталев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2005. – Вып. 21, Т. 1. – С. 214-225.