Автоматизированный комплекс элит-процесса изготовления сенсорных микросистем
| dc.contributor.author | Колешко, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Гулай, А. В. | ru |
| dc.contributor.author | Полынкова, Е. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2023-02-20T11:57:06Z | |
| dc.date.available | 2023-02-20T11:57:06Z | |
| dc.date.issued | 2005 | |
| dc.identifier.citation | Колешко, В. М. Автоматизированный комплекс элит-процесса изготовления сенсорных микросистем / В. М. Колешко, А. В. Гулай, Е. В. Полынкова // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; под ред. Б. М. Хрусталева ; редкол.: Б. М. Хрусталев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2005. – Вып. 21, Т. 1. – С. 214-225. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/126274 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Автоматизированный комплекс элит-процесса изготовления сенсорных микросистем | ru |
| dc.type | Article | ru |
