Влияние температуры муфеля камеры с горячими стенками на параметры тлеющего разряда
Bibliographic entry
Опиок, А. А. Влияние температуры муфеля камеры с горячими стенками на параметры тлеющего разряда / А. А. Опиок ; науч. рук. М. Н. Босяков // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25 ноября 2022 г.) : в 2 ч. / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – Ч. 2. – С. 81-85.
Abstract
В данной статье рассматривается влияние температуры муфеля камеры с горячими стенками на параметры тлеющего разряда. Температура стенки камеры является еще одним управляющим параметром при проведении процесса обработки в тлеющем разряде.