dc.contributor.advisor | Босяков, М. Н. | ru |
dc.contributor.author | Опиок, А. А. | ru |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2023-03-24T10:45:36Z | |
dc.date.available | 2023-03-24T10:45:36Z | |
dc.date.issued | 2023 | |
dc.identifier.citation | Опиок, А. А. Влияние температуры муфеля камеры с горячими стенками на параметры тлеющего разряда / А. А. Опиок ; науч. рук. М. Н. Босяков // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25 ноября 2022 г.) : в 2 ч. / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – Ч. 2. – С. 81-85. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/126819 | |
dc.description.abstract | В данной статье рассматривается влияние температуры муфеля камеры с горячими стенками на параметры тлеющего разряда. Температура стенки камеры является еще одним управляющим параметром при проведении процесса обработки в тлеющем разряде. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Влияние температуры муфеля камеры с горячими стенками на параметры тлеющего разряда | ru |
dc.type | Working Paper | ru |