Перспективные методы формирования многоуровневой металлизации
Bibliographic entry
Козуля, А. А. Перспективные методы формирования многоуровневой металлизации / А. А. Козуля, М. И. Маркевич, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 16-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 19-21 апреля 2023 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 146-147.