Перспективные методы формирования многоуровневой металлизации
| dc.contributor.author | Козуля, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2023-05-12T10:24:56Z | |
| dc.date.available | 2023-05-12T10:24:56Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.identifier.citation | Козуля, А. А. Перспективные методы формирования многоуровневой металлизации / А. А. Козуля, М. И. Маркевич, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 16-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 19-21 апреля 2023 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 146-147. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/127688 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Перспективные методы формирования многоуровневой металлизации | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
