Особенности резки монокристаллических слитков кремния на пластины
| dc.contributor.author | Зеленин, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Мельников, Г. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Сенько, С. Ф. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2023-05-19T06:11:47Z | |
| dc.date.available | 2023-05-19T06:11:47Z | |
| dc.date.issued | 2001 | |
| dc.identifier.citation | Зеленин, В. А. Особенности резки монокристаллических слитков кремния на пластины / В. А. Зеленин, Г. Г. Мельников, С. Ф. Сенько // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусская государственная политехническая академия ; редкол.: И. П. Филонов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : Технопринт, 2001. – Вып. 17. – С. 19-23. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/128356 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Технопринт | ru |
| dc.title | Особенности резки монокристаллических слитков кремния на пластины | ru |
| dc.type | Article | ru |
