Формирование внутренних напряжений в ионно-вакуумных покрытиях из нитрида титана и в алмазоподобной пленке
Date
1990Publisher
Bibliographic entry
Формирование внутренних напряжений в ионно-вакуумных покрытиях из нитрида титана и в алмазоподобной пленке / Е. В. Макаревич, с // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский ордена Трудового Красного Знамени политехнический институт ; редкол.: В. Н. Чачин (гл. ред.) [и др.]. – Минск : Вышэйшая школа, 1990. – Вып. 15. – С. 95-98.