Формирование внутренних напряжений в ионно-вакуумных покрытиях из нитрида титана и в алмазоподобной пленке
| dc.contributor.author | Макаревич, Е. В. | ru |
| dc.contributor.author | Иващенко, С. А. | ru |
| dc.contributor.author | Фролов, И. С. | ru |
| dc.contributor.author | Самаль, А. М. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2023-05-19T10:34:33Z | |
| dc.date.available | 2023-05-19T10:34:33Z | |
| dc.date.issued | 1990 | |
| dc.identifier.citation | Формирование внутренних напряжений в ионно-вакуумных покрытиях из нитрида титана и в алмазоподобной пленке / Е. В. Макаревич, с // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский ордена Трудового Красного Знамени политехнический институт ; редкол.: В. Н. Чачин (гл. ред.) [и др.]. – Минск : Вышэйшая школа, 1990. – Вып. 15. – С. 95-98. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/128439 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Вышэйшая школа | ru |
| dc.title | Формирование внутренних напряжений в ионно-вакуумных покрытиях из нитрида титана и в алмазоподобной пленке | ru |
| dc.type | Article | ru |
