Металлизация процессорных сенсорных микросистем
Bibliographic entry
Баркалин, В. В. Металлизация процессорных сенсорных микросистем / В. В. Баркалин, Е. В. Полынкова // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: И. П. Филонов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : Технопринт, 2002. – Вып. 18. – С. 535-543.