Металлизация процессорных сенсорных микросистем
| dc.contributor.author | Баркалин, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Полынкова, Е. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2023-05-22T12:19:19Z | |
| dc.date.available | 2023-05-22T12:19:19Z | |
| dc.date.issued | 2002 | |
| dc.identifier.citation | Баркалин, В. В. Металлизация процессорных сенсорных микросистем / В. В. Баркалин, Е. В. Полынкова // Машиностроение : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: И. П. Филонов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : Технопринт, 2002. – Вып. 18. – С. 535-543. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/128486 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Технопринт | ru |
| dc.title | Металлизация процессорных сенсорных микросистем | ru |
| dc.type | Article | ru |
