Browsing Часть 2 by Author "Терещук, О. И."
Now showing items 1-1 of 1
-
Магнетрон с увеличенным коэффициентом использования мишени
Погадаев, В. А. (БНТУ, 2023)В данной статье авторы рассматривают изменение коэффициента использования мишени и скорости осаждения тонких пленок в зависимости от различных углов наклона магнетронной распылительной системы.2023-10-17