Магнетрон с увеличенным коэффициентом использования мишени
Bibliographic entry
Погадаев, В. А. Магнетрон с увеличенным коэффициентом использования мишени / В. А. Погадаев ; науч. рук.: В. М. Комаровская, О. И. Терещук //Инновационные технологии и образование : материалы Международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2023 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Ю. А. Николайчик (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – Ч. 2. – С. 291-294.
Abstract
В данной статье авторы рассматривают изменение коэффициента использования мишени и скорости осаждения тонких пленок в зависимости от различных углов наклона магнетронной распылительной системы.