Browsing Т. 14, № 3 by Author "Микитевич, В. А."
Now showing items 1-1 of 1
-
Универсальный цифровой зондовый электрометр для контроля полупроводниковых пластин
Жарин, А. Л.; Микитевич, В. А.; Свистун, А. И.; Пантелеев, К. В. (БНТУ, 2023)Для исследования и контроля полупроводниковых пластин широко используются бесконтактные электрические методы, основанные на измерении потенциала поверхности (CPD) в сочетании с освещением и/или осаждением зарядов на образец с помощью коронного разряда, а также на измерении поверхностной фото-ЭДС (SPV). По фото-ЭДС возможно определение времени жизни неосновных носителей заряда, ...2023-10-17