Магнетрон с увеличенным коэффициентом использования мишени
| dc.contributor.advisor | Комаровская, В. М. | ru |
| dc.contributor.advisor | Терещук, О. И. | ru |
| dc.contributor.author | Погадаев, В. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2023-10-17T05:46:34Z | |
| dc.date.available | 2023-10-17T05:46:34Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.identifier.citation | Погадаев, В. А. Магнетрон с увеличенным коэффициентом использования мишени / В. А. Погадаев ; науч. рук.: В. М. Комаровская, О. И. Терещук //Инновационные технологии и образование : материалы Международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2023 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Ю. А. Николайчик (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – Ч. 2. – С. 291-294. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/136253 | |
| dc.description.abstract | В данной статье авторы рассматривают изменение коэффициента использования мишени и скорости осаждения тонких пленок в зависимости от различных углов наклона магнетронной распылительной системы. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Магнетрон с увеличенным коэффициентом использования мишени | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
