Барьерные свойства пленок TIN в тонкопленочной системе TIN/TISi2/Si
Bibliographic entry
Маркевич, М. И. Барьерные свойства пленок TIN в тонкопленочной системе TIN/TISi2/Si / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении [Электронный ресурс] : материалы VI международной научно-практической конференции (Минск, 1-2 марта 2018 года) : в рамках выставки «Автоматизация, электроника – 2018» / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.] ; сост. А. Н. Дербан. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 25-26.