Барьерные свойства пленок TIN в тонкопленочной системе TIN/TISi2/Si
| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | ru |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2024-04-19T11:42:50Z | |
| dc.date.available | 2024-04-19T11:42:50Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Маркевич, М. И. Барьерные свойства пленок TIN в тонкопленочной системе TIN/TISi2/Si / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении [Электронный ресурс] : материалы VI международной научно-практической конференции (Минск, 1-2 марта 2018 года) : в рамках выставки «Автоматизация, электроника – 2018» / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.] ; сост. А. Н. Дербан. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 25-26. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/141893 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Барьерные свойства пленок TIN в тонкопленочной системе TIN/TISi2/Si | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
