Метод формирования бинарных нитридов Ti-Al-N реактивным магнетронным распылением с оптическим управлением
Bibliographic entry
Метод формирования бинарных нитридов Ti-Al-N реактивным магнетронным распылением с оптическим управлением / В. А. Зайков [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 300-301.
Abstract
Основной задачей настоящей работы является определение параметров осаждения, позволяющих достичь высокой воспроизводимости химического состава пленок Ti-Al-N и их оптимальных физических свойств: твердости износостойкости и др.