| dc.contributor.author | Зайков, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Комаров, Ф. Ф. | ru |
| dc.contributor.author | Бурмаков, А. П. | ru |
| dc.contributor.author | Климович, И. М. | ru |
| dc.contributor.author | Кулешов, В. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Людчик, О. Р. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-03-23T08:04:04Z | |
| dc.date.available | 2015-03-23T08:04:04Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.identifier.citation | Метод формирования бинарных нитридов Ti-Al-N реактивным магнетронным распылением с оптическим управлением / В. А. Зайков [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 300-301. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/15143 | |
| dc.description.abstract | Основной задачей настоящей работы является определение параметров осаждения, позволяющих достичь высокой воспроизводимости химического состава пленок Ti-Al-N и их оптимальных физических свойств: твердости износостойкости и др. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Метод формирования бинарных нитридов Ti-Al-N реактивным магнетронным распылением с оптическим управлением | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
