Влияние скорости нанесения на характеристики покрытий из диоксида кремния, полученных осаждением из ионных пучков
Bibliographic entry
Телеш, Е. В. Влияние скорости нанесения на характеристики покрытий из диоксида кремния, полученных осаждением из ионных пучков / Е. В. Телеш, В. М. Титова // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 394-396.
Abstract
Проведено исследование влияния скорости нанесения Vн на структурно-фазовые, электро-физические и оптические характеристики покрытий из диоксида кремния, полученных осаждением из вторичного ионного пучка.