| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | ru |
| dc.contributor.author | Титова, В. М. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-03-25T07:23:50Z | |
| dc.date.available | 2015-03-25T07:23:50Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.identifier.citation | Телеш, Е. В. Влияние скорости нанесения на характеристики покрытий из диоксида кремния, полученных осаждением из ионных пучков / Е. В. Телеш, В. М. Титова // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 394-396. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/15260 | |
| dc.description.abstract | Проведено исследование влияния скорости нанесения Vн на структурно-фазовые, электро-физические и оптические характеристики покрытий из диоксида кремния, полученных осаждением из вторичного ионного пучка. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Влияние скорости нанесения на характеристики покрытий из диоксида кремния, полученных осаждением из ионных пучков | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
