Измеритель параметров полупроводниковых пластин методом фотостимулированной зондовой электрометрии

Микитевич, В. А.; Довнар, А. С.; Зданович, С. В.; Поведайко, А. Д.

Authors

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-supervisor

Жарин, А. Л.

Date

2019

Another Title

Отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20191087

Bibliographic entry

Измеритель параметров полупроводниковых пластин методом фотостимулированной зондовой электрометрии : отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20191087 / Белорусский национальный технический университет ; рук. А. Л. Жарин ; исполн.: В. А. Микитевич [и др.]. – Минск : [б. и.], 2019.

Abstract

Цель научно-исследовательской работы: разработка измерителя параметров полупроводниковых пластин методом фотостимулированной зондовой электрометрии с широкими функциональными возможностями, высокой точностью и быстродействием, позволяющего выполнять измерения бесконтактным методом. Метод проведения работы: компьютерное моделирование, натурный эксперимент. Основные характеристики: площадь зонда – 1 мм2; диапазон длин волн оптического излучения – 400-900 нм; диапазон измерения поверхностной фото-ЭДС ±2В; погрешность измерения поверхностной фото-ЭДС ± 2 мВ. Степень внедрения: макетный образец. Область применения: исследование параметров полупроводниковых пластин; измерение поверхностной фото-ЭДС и времени жизни носителей заряда в полупроводниковых пластинах в процессе производства, а также при проведении научных исследований.