| dc.contributor.author | Микитевич, В. А. | |
| dc.contributor.author | Довнар, А. С. | |
| dc.contributor.author | Зданович, С. В. | |
| dc.contributor.author | Поведайко, А. Д. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2025-04-09T07:45:36Z | |
| dc.date.available | 2025-04-09T07:45:36Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Измеритель параметров полупроводниковых пластин методом фотостимулированной зондовой электрометрии : отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20191087 / Белорусский национальный технический университет ; рук. А. Л. Жарин ; исполн.: В. А. Микитевич [и др.]. – Минск : [б. и.], 2019. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/154309 | |
| dc.description.abstract | Цель научно-исследовательской работы: разработка измерителя параметров полупроводниковых пластин методом фотостимулированной зондовой электрометрии с широкими функциональными возможностями, высокой точностью и быстродействием, позволяющего выполнять измерения бесконтактным методом. Метод проведения работы: компьютерное моделирование, натурный эксперимент. Основные характеристики: площадь зонда – 1 мм2; диапазон длин волн оптического излучения – 400-900 нм; диапазон измерения поверхностной фото-ЭДС ±2В; погрешность измерения поверхностной фото-ЭДС ± 2 мВ. Степень внедрения: макетный образец. Область применения: исследование параметров полупроводниковых пластин; измерение поверхностной фото-ЭДС и времени жизни носителей заряда в полупроводниковых пластинах в процессе производства, а также при проведении научных исследований. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.title | Измеритель параметров полупроводниковых пластин методом фотостимулированной зондовой электрометрии | ru |
| dc.title.alternative | Отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20191087 | ru |
| dc.type | Technical Report | ru |
| dc.contributor.supervisor | Жарин, А. Л. | |
