Расчет механических и тепловых свойств и оптимизация конструкции микромеханических мембранных структур для микромощных газовых сенсоров

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-supervisor

Хатько, В. В.

Date

2010

Publisher

БНТУ

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc

53.087.92 - 621.382

Another Title

Отчет о НИР (Заключительный) : 1.15/01

Bibliographic entry

Расчет механических и тепловых свойств и оптимизация конструкции микромеханических мембранных структур для микромощных газовых сенсоров : отчет о НИР (заключительный) : 1.15/01 / Белорусский национальный технический университет; рук. Хатько В. В. – Минск, 2010. – 27 с. – Библиогр.: С. 4. - № ГР 20102529

Abstract

Объектом исследования являются высокочувствительные микромощные химические сенсоры на слоистых структурах Si3N4/Si02/Si3N4. Цель работы - расчет механических и тепловых свойств и оптимизация конструкции микромощных газовых сенсоров. Проведен расчет и оптимизирована конструкция мембранного химического сенсора с импульсным питанием и определены наиболее «опасные» с точки зрения долговременной стабильности при циклическом нагружении элементы сенсора. Результаты работы будут использоваться при модификации и оптимизации конструкций высокочувствительных химических сенсоров.