| dc.contributor.author | Плескачевский, Ю. М. | |
| dc.contributor.author | Баркалин, В. В. | |
| dc.contributor.author | Сергейченко, А. В. | |
| dc.contributor.author | Шукевич, Я. И. | |
| dc.contributor.author | Белогуров, Е. А. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2012-03-14T06:07:11Z | |
| dc.date.available | 2012-03-14T06:07:11Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.identifier.citation | Расчет механических и тепловых свойств и оптимизация конструкции микромеханических мембранных структур для микромощных газовых сенсоров : отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20102529 / Белорусский национальный технический университет ; рук. В. В. Хатько ; исполн.: Ю. М. Плескачевский [и др.]. – Минск : [б. и.], 2010. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/1756 | |
| dc.description.abstract | Объектом исследования являются высокочувствительные микромощные химические сенсоры на слоистых структурах Si3N4/Si02/Si3N4. Цель работы - расчет механических и тепловых свойств и оптимизация конструкции микромощных газовых сенсоров. Проведен расчет и оптимизирована конструкция мембранного химического сенсора с импульсным питанием и определены наиболее «опасные» с точки зрения долговременной стабильности при циклическом нагружении элементы сенсора. Результаты работы будут использоваться при модификации и оптимизации конструкций высокочувствительных химических сенсоров. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.title | Расчет механических и тепловых свойств и оптимизация конструкции микромеханических мембранных структур для микромощных газовых сенсоров | ru |
| dc.title.alternative | Отчет о НИР (Заключительный) : № ГР 20102529 | ru |
| dc.type | Technical Report | ru |
| dc.contributor.supervisor | Хатько, В. В. | ru |
