| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2012-03-20T09:15:35Z | |
| dc.date.available | 2012-03-20T09:15:35Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.identifier.citation | Формирование глубинных наноразмерных слоев силицидов и диэлектриков в кремнии : отчет о НИР (заключительный) : 06-94 / Белорусский национальный технический университет; рук. Францкевич А.В., исполн. Мазаник А.В., исполн. Федотов А.К. [и др.]. – Минск, 2010. – 64 с. – Библиогр.: с. 4. - № ГР 20062993 | ru |
| dc.identifier.govdoc | 20062993 | |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/1797 | |
| dc.description.abstract | Объектом исследования являются пластины кремния, содержащие глубинные слои и иные дефекты, сформированные посредством имплантации и последующего геттерирования на них примесей.
Цель работы – разработка принципов формирования областей с особыми свойствами в пластинах кремния посредством имплантации водорода, гелия или аргона и последующей плазменной обработки.
Основные методы исследования: резерфордовское обратное рассеяние, сканирующая электронная микроскопия, масс-спектроскопия вторичных ионов, измерение времени жизни неравновесных носителей, спектроскопия комбинационного рассеяния. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.subject | Кремний | ru |
| dc.subject | Имплантация | ru |
| dc.subject | Аргон | ru |
| dc.subject | Глубинный слой | ru |
| dc.subject | Гелий | ru |
| dc.subject | Геттерирование | ru |
| dc.title | Формирование глубинных наноразмерных слоев силицидов и диэлектриков в кремнии | ru |
| dc.title.alternative | отчет о НИР (заключительный) : 06-94 | ru |
| dc.type | Technical Report | ru |
| dc.identifier.udc | 621.315.592 | ru |
| dc.contributor.supervisor | Францкевич, А. В. | ru |
