Моделирование конструкции лавинных фотодиодов с охранными областями для регистрации маломощных световых потоков

Корытко, Н. Н.; Залесский, В. Б.; Малышев, В. С.; Хатько, В. В.

Authors

Date

2011

Publisher

БНТУ

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc

621.382.001.63

Bibliographic entry

Корытко, Н. Н. Моделирование конструкции лавинных фотодиодов с охранными областями для регистрации маломощных световых потоков / Н. Н. Корытко, В. Б. Залесский, В. С. Малышев, В. В. Хатько // Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Романюк Ф.А. ; кол. авт. Министерство образования Республики Беларусь ; кол. авт. Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2011. – №1(2). – С.32–39.

Abstract

Проведено моделирование конструкции охранной области и величины напряжения пробоя лавинного фотодиода со структурой диода Рида. Показано влияние полевой обкладки с системой охранных колец на область пробоя n+-p перехода и предложен метод ее реализации. Установлен требуемый профиль примеси в эпитаксиальной пленке при концентрации примеси в подложке ~2,5·1014 см-3, определены пробивные напряжения диода с охранными кольцами, распределение в нем электрического поля и области пробоя.